Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
openRuhr-Universität Bochum · 05911-06001-11
Description
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Key facts
- Procedure
- comp-dial
- Contact
- beschaffung@rub.de
- Category
- supplies
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Provenance
- Source
- ted-eu
- Notice id
- 562332-2026
- First seen
- 22 Aug 2026
- Last updated
- 28 Aug 2026
Licence EU reuse — Commission Decision 2011/833/EU ↗
Source: TED — Tenders Electronic Daily (ted.europa.eu), © European Union, reused under Commission Decision 2011/833/EU.
GET /api/v1/tenders/8dea3ca9-2406-4f53-a112-871c61d56cb2The source notice is authoritative — verify deadlines and documents there before bidding.